????薄膜電阻測試儀 一  概述 

本儀器既可測量超高電阻，又可測極微弱電流。采用了大規(guī)模集成電路以及的技 術(shù)，使儀器體積小、重量輕、準(zhǔn)確度高。以數(shù)字液晶顯示電阻并同時(shí)直接顯示流過被測電阻的電流。電阻量程從1×104Ω ～1×1018Ω， 電流測量范圍 為2 ×10-4A ～1 ×10-16A。機(jī)內(nèi)測試電壓為DC10V、50V、100V、250V、500V、1000V。

本儀器具有精度高、顯示迅速、穩(wěn)定性好、讀數(shù)方便, 適用于防靜電產(chǎn)品 如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計(jì)算機(jī)房防靜電活動地板等電阻值的檢驗(yàn)以及絕緣材料和電子電器產(chǎn)品的絕緣電阻測量。本儀器除能測電阻外，還能直接測量電流如電子器件暗電流等。

二  主要特點(diǎn) 

  電阻測量范圍 1×104Ω ～1×1018 Ω； 

  電流測量范圍 2×10-4Ａ ～1×10-16Ａ； 

  體積小、重量輕、準(zhǔn)確度高；

  *的被測電阻、和流過電阻的電流雙顯示，使操作測量更加方便；

          性能穩(wěn)定、讀數(shù)方便；

          既能測電阻又能測電流；

  測試電壓有六種選擇DC10V、50V、100V、250V、500V、1000V；

         使用操作簡便，在任何電阻量程和測試電壓下均直接讀顯示數(shù)字結(jié)果，免去要乘以一個(gè)系數(shù)的麻煩，使測量超高電阻就如用萬用表測量普通電阻樣簡便。

三  主要應(yīng)用范圍 

材料高阻測試測量如防靜電產(chǎn)品（防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計(jì)算機(jī)房防靜電活動地板等）電阻值的檢測；

材料體電阻(率)和表面電阻(率)測量；

電化學(xué)和材料測試,以及物理,光學(xué)和材料研究;

微弱電流測量如光電效應(yīng)和器件暗電流測量。

四  技術(shù)指標(biāo) 

1.   電阻測量范圍： 1×104Ω ～1×1018Ω，分為十個(gè)量程。

2.   電流測量范圍為2×10-4A ～1×10-16A

3.   全數(shù)字液晶屏顯示。

4.   準(zhǔn)確度: 準(zhǔn)確度優(yōu)于下表

?

( 超出有效顯示范圍時(shí)誤差有可能增加)測試電流準(zhǔn)確度與電阻相同

測試電壓準(zhǔn)確度為 10%

5. 使用環(huán)境: 溫度 -10℃～50℃ 相對濕度<90%。

6. 測試電壓: DC10V、50V、100V、250V、500V、1000V。±10%

7. 供電形式: AC 220V，50HZ，功耗約10W。

8. 儀器尺寸: 300ｍｍ× 280ｍｍ× 150 mm。

9. 重量: 約3.0KG。

 五  工作原理  

        根據(jù)歐姆定律，被測電阻R等于施加電壓V除以通過的電流I。即   

   V

R= ---

   I

        傳統(tǒng)的儀器的工作原理是測量電壓V固定，通過測量流過被測物體的電流I以標(biāo)定電阻的刻度來讀出電阻值。從上式可以看出，由于電流I是與電阻成反比，而不是成正比，所以電阻的顯示值是非線性的，即電阻無窮大時(shí)，電流為零，即表頭的零位處是∞，其附近的刻度非常密，分辨率很低。整個(gè)刻度是非線性的。又由于測量不同的電阻時(shí)，其電壓V也會有些變化，所以普通的高阻計(jì)的精度是很難提高的。 

       ZST-121體積、表面電阻率測定儀是同時(shí)測出電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I，通過內(nèi)部的大規(guī)模集成電路完成電壓除以電流的計(jì)算，然后把所得到的結(jié)果經(jīng)過A/D轉(zhuǎn)換后以數(shù)字顯示出電阻值，即便是電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I是同時(shí)變化，其顯示的電阻值不象普通高阻計(jì)那樣因被測電壓V的變化或電流Ｉ的變化而變，所以, 即使測量電壓、被測量電阻、電源電壓等發(fā)生變化對其結(jié)果影響不大，其測量精度很高。從理論上講其誤差可以做到零。而實(shí)際誤差可以做到千分之幾或萬分之幾。 

 六  使用方法 

6.1接好電源線 

確保電源為220VAC/50Hz 

6.2接通電源 

    將電流電阻量程置于 104 檔,電壓量程置于10V，然后開機(jī)。

6.3調(diào)零 

在“Rx"兩端開路的情況下,調(diào)零使電流表的顯示為0000 .注意：在“Rx"兩端不開路，如接在電阻箱或被測量物體上時(shí)調(diào)零后測量會產(chǎn)生很大的誤差。一般一次調(diào)零后在測試過程中不需再調(diào)零。 完畢后關(guān)機(jī)。

6.4連接線路 

     接好測試線，將測試線將主機(jī)與屏蔽箱連接好，測體積電阻時(shí)測試按鈕撥到Rv邊，測表面電阻時(shí)測試按鈕撥到Rs邊。然后開機(jī)。

6.5選擇合適的測量電壓 

★電壓選擇開關(guān)在后面板，注意，在測試過程中不要隨意改動測量電壓，可能因電壓的過高或電流過大損壞被測試器件或測試儀器; 

6.6測試 

測量時(shí)從低檔位逐漸拔往高檔，每撥一次稍停留1～2秒以使觀察顯示數(shù)字， 當(dāng)被測電阻大于儀器測量量程時(shí)，電阻表顯示“1"，此時(shí)應(yīng)繼續(xù)將儀器撥到量程更高的位置，當(dāng)測量儀器有顯示值時(shí)應(yīng)停下，當(dāng)前的數(shù)字乘以檔次即是被測電阻值。當(dāng)有顯示數(shù)字時(shí)不要再往更高次檔撥，否測儀器會過量程，機(jī)內(nèi)保護(hù)電路開始工作，儀器測量準(zhǔn)確度會下降。 

6.7 測試完畢將電阻電流量程拔至“104 "檔，電壓量程調(diào)至10V后關(guān)閉電源

★每測量一次均應(yīng)將量程開關(guān)撥回到104“調(diào)零"檔的量程位置以免開機(jī)或測量端短路時(shí)而損壞儀器。

6.8 測量電流及1015Ω以上超高電阻的測量應(yīng)用測量電流后用歐姆定律以電壓除以電流計(jì)算電阻的方法，詳見8.5節(jié)內(nèi)容。

6.9 體積電阻和表面電阻轉(zhuǎn)換

★在測試過程中，使用屏蔽箱在進(jìn)行體積電阻和表面電阻轉(zhuǎn)換時(shí)，必須把電源關(guān)閉后進(jìn)行檔位轉(zhuǎn)換，否則會導(dǎo)致電壓沖擊到主機(jī)無法顯示或損壞。

薄膜電阻測試儀 七  使用注意事項(xiàng) 

★高阻測量一定要嚴(yán)格按使用方法步聚進(jìn)行，否則有可能造成儀器*損壞或電人。 

7.1 應(yīng)在“Rx"兩端開路時(shí)調(diào)零（主機(jī)開機(jī)）

如接在電阻箱或被測量物體上時(shí)調(diào)零后測量會產(chǎn)生很大的誤差。一般一次調(diào)零后在測試過程中不需再調(diào)零，但改變測量電壓后可能要重新調(diào)零。 

7.2 禁止將“Rx"兩端短路，以免微電流放大器受大電流沖擊

7.3 在測試過程中不要隨意改動測量電壓， 

★隨意改動測量電壓可能因電壓的過高或電流過大損壞被測試器件或測試儀器，而且有的材料是非線性的，即電壓與電流是不符合歐姆定律，有改變電壓時(shí)由于電流不是線性變化，所以測量的電阻也會變化。 

7.4 測量時(shí)從低次檔逐漸拔往高次檔 

★每撥一次稍停留1～2秒以便觀察顯示數(shù)字，當(dāng)有顯示值時(shí)應(yīng)停下，記錄當(dāng)前的數(shù)字即是被測電阻值。若顯示“1"時(shí)，表示欠量程應(yīng)往高次檔拔。直到有顯示數(shù)字時(shí)為止。當(dāng)有顯示數(shù)字時(shí)不能再往高次檔撥，否則有可能損壞儀器(機(jī)內(nèi)有過電流保護(hù)電路)。除104 Ω檔之外，當(dāng)顯示低于1.99，表示過量程應(yīng)換低檔! 

7.5 大部分絕緣材料，特別是防靜電材料的電阻值在加電壓后會有一定變化而引起數(shù)字變化 

★由于本儀器的分辯率很高，因而會引起顯示值的末尾幾位數(shù)也變化，這不是儀器本身的問題，而是被測量對象的導(dǎo)電機(jī)理復(fù)雜而使得阻值有些變化。在這種情況下往往取2位有效數(shù)就夠了。 

7.6 接通電源后，手指不能觸及高壓線的金屬部分 

★本儀表有二連根線:高壓線(紅)和微電流測試線。在使用時(shí)要注意高壓線，開機(jī)后人不能觸及高壓線，以免電人或麻手。 

7.7 測試過程中不能觸摸微電流測試端 

★微電流測試端zui怕受到大電流或人體感應(yīng)電壓及靜電的沖擊。所以在開機(jī)后和測試過程中不能與微電流測試端接觸，以免損壞儀表。 

7.8 在測量高阻時(shí)，應(yīng)采用屏蔽盒將被測物體屏蔽. 

★在測量大于1010 Ω以上時(shí)，為防止外界干擾面而引起讀數(shù)不穩(wěn)。 

7.9 每次測量完時(shí)應(yīng)將量程開關(guān)撥回“104 "檔再進(jìn)行下次測試????

在測量時(shí)應(yīng)逐漸將量程開關(guān)撥到高阻檔，測量完時(shí)應(yīng)將電流電阻量程、電壓量程開關(guān)撥回低檔。以 確保下次開機(jī)時(shí)量程開關(guān)處在低阻量程檔。

_{An overview}

_{本儀器既可測量超高電阻，又可測極微弱電流。采用了大規(guī)模集成電路以及的技 術(shù)，使儀器體積小、重量輕、準(zhǔn)確度高。以數(shù)字液晶顯示電阻并同時(shí)直接顯示流過被測電阻的電流。電阻量程從1×104Ω ～1×1018Ω， 電流測量范圍 為2 ×10-4A ～1 ×10-16A。機(jī)內(nèi)測試電壓為DC10V、50V、100V、250V、500V、1000V。}

_{This instrument can measure high resistance, and can measure weak current. The large scale integrated circuit and new patent technology, the instrument has the advantages of small volume, light weight, high accuracy. In a digital liquid crystal display resistance and directly display the current flowing through the measured resistance. Resistance range from 1 × 104 to 1 × 1018 Ω, current measuring range is 2 × 10-4A ～ 1 × 10-16A. The built-in test voltage of DC10V, 50V, 100V, 250V, 500V, 1000V.}

_{本儀器具有精度高、顯示迅速、穩(wěn)定性好、讀數(shù)方便, 適用于防靜電產(chǎn)品 如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計(jì)算機(jī)房防靜電活動地板等電阻值的檢驗(yàn)以及絕緣材料和電子電器產(chǎn)品的絕緣電阻測量。本儀器除能測電阻外，還能直接測量電流如電子器件暗電流等。}

_{The instrument has high precision, good stability, shows a rapid, convenient reading, suitable for measuring insulation resistance in anti-static products such as anti-static shoes, anti-static plastic and rubber products, computer room anti electrostatic floor activities such as inspection resistance and insulation materials and electronic products. This instrument can measure resistance, current electronic device can directly measure such as dark current.}

_{二 主要特點(diǎn)}

_{Two main features}

_{電阻測量范圍 1×104Ω ～1×1018 Ω；}

_{Resistance measurement range of 1 × 104 to 1 × 1018 Ω;}

_{電流測量范圍 2×10-4Ａ ～1×10-16Ａ；}

_{The current measurement range of 2 × 10-4A ～ 1 × 10-16A;}

_{體積小、重量輕、準(zhǔn)確度高；}

_{Small volume, light weight, high accuracy;}

_{*的被測電阻、和流過電阻的電流雙顯示，使操作測量更加方便；}

_{Current, resistance, and resistance is measured through the unique dual display, make the operation more convenient;}

_{性能穩(wěn)定、讀數(shù)方便；}

_{Stable performance, easy reading;}

_{既能測電阻又能測電流；}

_{Not only can measure resistance and the measured current;}

_{測試電壓有六種選擇DC10V、50V、100V、250V、500V、1000V；}

_{The test voltage is six DC10V, 50V, 100V, 250V, 500V, 1000V;}

_{使用操作簡便，在任何電阻量程和測試電壓下均直接讀顯示數(shù)字結(jié)果，免去要乘以一個(gè)系數(shù)的麻煩，使測量超高電阻就如用萬用表測量普通電阻樣簡便。}

_{The operation is convenient, in any resistance range and test voltage are directly read and display digital results, so it is multiplied by a coefficient of trouble, ultra high resistance as measured with a multimeter common resistance is measured.}

_{三 主要應(yīng)用范圍}

_{The three main applications}

_{材料高阻測試測量如防靜電產(chǎn)品（防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計(jì)算機(jī)房防靜電活動地板等）電阻值的檢測；}

_{The measurement of high resistance testing materials such as anti-static products (anti-static shoes, anti-static plastic and rubber products, computer room activities of anti-static flooring etc.) detection resistance value;}

_{材料體電阻(率)和表面電阻(率)測量；}

_{Material body resistance (rate) and surface resistance (rate) measurement;}

_{電化學(xué)和材料測試,以及物理,光學(xué)和材料研究;}

_{The electrochemical and material testing, as well as physical, optical and material research;}

_{微弱電流測量如光電效應(yīng)和器件暗電流測量。}

_{Weak current measurement as photoelectric effect and dark current measurement device.}

_{四 技術(shù)指標(biāo)}

_{The four technical indicators}

_{1. 電阻測量范圍： 1×104Ω ～1×1018Ω，分為十個(gè)量程。}

_{1 resistance measurement range: 1 × 104 ~ 1 × 1018 Ω, divided into ten ranges.}

_{2. 電流測量范圍為2×10-4A ～1×10-16A}

_{2 current measuring range is 2 × 10-4A ～ 1 × 10-16A}

_{3. 全數(shù)字液晶屏顯示。}

_{3 all digital LCD display.}

_{4. 準(zhǔn)確度: 準(zhǔn)確度優(yōu)于下表}

_{4 accuracy: the accuracy of the table below}

_{量程 有效顯示范圍 20～30℃ RH<80%}

_{The range of effective display area of 20 ~ 30 ℃ RH<80%}

_{104 0.01~19.99 1%}

_{104 0.01~19.99 1%}

_{105 0.01～19.99 1%}

_{1050.01 19.991%}

_{106 0.01～19.99 1%}

_{1060.01 19.991%}

_{107 0.01～19.99 1%}

_{1070.01 19.991%}

_{108 0.01～19.99 1%}

_{1080.01 19.991%}

_{109 0.01～19.99 1%}

_{1090.01 19.991%}

_{1010 0.01～19.99 5%+2字}

_{10100.01 ~ 19.99 5%+2 words}

_{1011 0.01～19.99 5%+2字}

_{10110.01 ~ 19.99 5%+2 words}

_{1012 0.01～19.99 5%+5字}

_{10120.01 ~ 19.99 5%+5 words}

_{1013 0.01～19.99 10%+5字}

_{10130.01 ~ 19.99 10%+5 words}

_{1014 0.01～19.99 10%+5字}

_{10140.01 ~ 19.99 10%+5 words}

_{1014以上 0.01～19.99 10-15%+5字}

_{More than 1014 of 0.01 ~ 19.99 10-15%+5 words}

_{( 超出有效顯示范圍時(shí)誤差有可能增加)測試電流準(zhǔn)確度與電阻相同}

_{(beyond the effective display range error may increase) test current accuracy and the same resistance}

_{測試電壓準(zhǔn)確度為 10%}

_{The test voltage accuracy is 10%}

_{5. 使用環(huán)境: 溫度 -10℃～50℃ 相對濕度<90%。}

_{5 the use of the environment: temperature of -10 ℃ ~ 50 ℃ relative humidity <90%.}

_{6. 測試電壓: DC10V、50V、100V、250V、500V、1000V。±10%}

_{6 the test voltage: DC10V, 50V, 100V, 250V, 500V, 1000V. ± 10%}

_{7. 供電形式: AC 220V，50HZ，功耗約10W。}

_{7 power supply forms: AC 220V, 50HZ, power consumption is about 10W.}

_{8. 儀器尺寸: 300ｍｍ× 280ｍｍ× 150 mm。}

_{The 8 instrument size: 300mm x 280mm x 150 mm.}

_{9. 質(zhì)量: 約3.0KG。}

_{9 quality: about 3.0KG.}

_{五 工作原理}

_{The five principle}

_{根據(jù)歐姆定律，被測電阻R等于施加電壓V除以通過的電流I。即}

_{According to Ohm's law, the measured resistance R is equal to the applied voltage divided by current V by I. That is}

_V

_V

_{R= ---}

_{R= -}

_I

_I

_{傳統(tǒng)的儀器的工作原理是測量電壓V固定，通過測量流過被測物體的電流I以標(biāo)定電阻的刻度來讀出電阻值。從上式可以看出，由于電流I是與電阻成反比，而不是成正比，所以電阻的顯示值是非線性的，即電阻無窮大時(shí)，電流為零，即表頭的零位處是∞，其附近的刻度非常密，分辨率很低。整個(gè)刻度是非線性的。又由于測量不同的電阻時(shí)，其電壓V也會有些變化，所以普通的高阻計(jì)的精度是很難提高的。}

_{The working principle of traditional instrument is to measure the voltage of V fixed, scale current by measuring the flow through the measured object I to calibrate the resistance to read the value of resistance. Can be seen from the above equation, the current I is inversely proportional to the resistance, not proportional, so is nonlinear resistive display value, namely the infinite resistance, current is zero, i.e. zero at the header is ∞, graduated in the vicinity of the very tight, very low resolution. The scale is nonlinear. Because the resistance measurement is different, its voltage V there will be some changes, so the high resistance of ordinary meter accuracy is difficult to improve.}

_{ZST-121體積、表面電阻率測定儀是同時(shí)測出電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I，通過內(nèi)部的大規(guī)模集成電路完成電壓除以電流的計(jì)算，然后把所得到的結(jié)果經(jīng)過A/D轉(zhuǎn)換后以數(shù)字顯示出電阻值，即便是電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I是同時(shí)變化，其顯示的電阻值不象普通高阻計(jì)那樣因被測電壓V的變化或電流Ｉ的變化而變，所以, 即使測量電壓、被測量電阻、電源電壓等發(fā)生變化對其結(jié)果影響不大，其測量精度很高。從理論上講其誤差可以做到零。而實(shí)際誤差可以做到千分之幾或萬分之幾。}

_{ZST-121 volume, surface resistivity tester is current and voltage V and flow resistance at the same time measuring resistor I, the large scale integrated circuit internal to complete the calculation of voltage divided by current, and then the obtained results after A/D conversion to digital display resistance value, even if is current and voltage of V and flow resistance at both ends of the I is changed at the same time, it shows the value of resistance do not like ordinary high resistance meter that due to changes in the measured voltage or current change of V I and change, so, even if the measurement of voltage, resistance, power supply voltage is measured changes had little effect on the results, the measuring accuracy is very high. Theoretically the error can do zero. But the actual error can be done a few thousandths or very few.}

_{六 使用方法}

_{Six using the method}

_{6.1接好電源線}

_{6.1 connect the power line}

_{確保電源為220VAC/50Hz}

_{Ensure that the power supply is 220VAC/50Hz}

_{6.2接通電源}

_{6.2 connect the power supply}

_{將電流電阻量程置于 104 檔,電壓量程置于10V，然后開機(jī)。}

_{The current resistance range in 104 gear, voltage range on the 10V, and then boot.}

_{6.3調(diào)零}

_{6.3 zero}

_{在“Rx"兩端開路的情況下,調(diào)零使電流表的顯示為0000 .注意：在“Rx"兩端不開路，如接在電阻箱或被測量物體上時(shí)調(diào)零后測量會產(chǎn)生很大的誤差。一般一次調(diào)零后在測試過程中不需再調(diào)零。 完畢后關(guān)機(jī)。}

_{In the "Rx" both ends open circuit case, zero to display the current meter is 0 note: do not open the "Rx" ends, such as the resistance box or the object being measured at zero measurement will produce great error. A general tone in the testing process need not be zero zero. After shutdown.}

_{6.4連接線路}

_{6.4 connecting line}

_{接好測試線，將測試線將主機(jī)與屏蔽箱連接好，測體積電阻時(shí)測試按鈕撥到Rv邊，測表面電阻時(shí)測試按鈕撥到Rs邊。然后開機(jī)。}

_{Connect the test line, test line will host and shielding box is connected well, the test button to dial Rv boundary to measure the volume resistance, surface resistance test button to dial Rs. And then boot.}

_{6.5選擇合適的測量電壓}

_{6.5 select the appropriate measuring voltage}

_{★電壓選擇開關(guān)在后面板，注意，在測試過程中不要隨意改動測量電壓，可能因電壓的過高或電流過大損壞被測試器件或測試儀器;}

_{★ voltage selection switch on the rear panel, pay attention to, in the process of testing do not arbitrarily change the measured voltage, probably due to voltage is too high or too large current and damage to the device or instrument test;}

_6.6測試

_{The 6.6 test}

_{測量時(shí)從低檔位逐漸拔往高檔，每撥一次稍停留1～2秒以使觀察顯示數(shù)字， 當(dāng)被測電阻大于儀器測量量程時(shí)，電阻表顯示}

_{When measured from low-grade to high-grade gradually pulled out, each dial again slightly for 1 ~ 2 seconds to make the observation of figures, when the measured resistance is greater than the measurement range, resistance meter display}

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